27 июля, Минск /Корр. БЕЛТА/. Холдинг точного машиностроения "Планар" по проекту, финансируемому из Белорусского инновационного фонда, разработает новую модель лазерного оборудования, не имеющего аналогов в мире. Об этом рассказал председатель Государственного комитета по науке и технологиям Беларуси Александр Шумилин во время посещения предприятия, сообщили корреспонденту БЕЛТА в пресс-службе ГКНТ.
![](https://img.belta.by/uploads/lotus/news/2020/000025_32FAEC60EFEBADBE432585B200438DAE_665817.jpg)
Специалисты холдинга работают над новой технологией формирования микроизображений при помощи матрицы, содержащей более миллиона микрозеркал, каждое из которых управляется по отдельному алгоритму. Это позволит быстро формировать изображения с нанометровой точностью. Еще один интересный проект - разработка установки контроля привносимой дефектности, которая сможет при помощи оптического концентратора, выполненного на базе прецизионного эллиптического зеркала, улавливать малейшие частицы оптического излучения, возникающие в результате диффузного отражения от инородных частиц. Это сделает возможным обнаружение привнесенных дефектов нанометровых размеров.
![](https://img.belta.by/uploads/lotus/news/2020/000025_32FAEC60EFEBADBE432585B200438DAE_794915.jpg)
Разработанные специалистами технологии помогли создать лазерно-оптическое оборудование, признанное лучшим в мире после проведения сравнительных испытаний с американским и японским аналогами по методике мирового лидера в области производства фотошаблонов американской компании Photronics Inc. Отечественный образец набрал 78 баллов, американский - 76, японский - 68,5. В результате белорусский образец успешно эксплуатируется на новом заводе, построенном американо-японо-тайваньским консорциумом в Китае, две установки поставлены в китайский Тайвань. "Установка показала высокие эксплуатационные характеристики. Коэффициент готовности при трехсменном режиме работы по результатам первого года эксплуатации составил более 97%. Обеспечена полная совместимость с контролируемой средой уровня ISO-1. Это самый высокий класс чистоты помещений в соответствии с международным стандартом SEMI", - отметили в пресс-службе. В настоящее время проводятся переговоры и предконтрактное тестирование с рядом компаний США, Японии и Китая для заключения контрактов на поставку подобного оборудования.
Холдинг точного машиностроения "Планар" - один из мировых лидеров электронного машиностроения. За прошедшие десятилетия на предприятии создана научная школа в области проектирования специального технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства изделий микро- и наноэлектроники, основанного на лазерно-оптических технологиях и технологиях прецизионной механики.-0-
Фото ГКНТ